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高纯气体管道与生产工艺用气设备应用不锈钢金属软管连接：不得采用非金属软管两端 加卡箍固定，此种非金属软管连接方式，虽然长度可随意方便和连接柔软，但非金属软管一-塑料或橡胶软管的渗透性大、吸附性强，且易老化变形，容易造成气体渗漏、污 染，使高纯气体质量降低。目前不锈钢金属软管的产品品种较多、规格齐全，连接方式多样，使用寿命长，虽然价格较贵，但为使高纯气体免受污染.确保输送至用气设备的气体质量，采用合适的不锈钢金属软管是合理的，值得推荐的。 高纯气体管道的连接都是采用焊接，这样可确保管道连接的气密性，避免高纯气体受污束。高纯气体焊接均采用保护气体焊接方式，以防止焊接时在管内留下焊 渣、氧化层等;焊接形式通常采用承插焊或对接焊连接，承插焊的好处是便于施焊时管道的对中，方便焊接，对于要求供用高纯气体纯度和杂质含量极为严格的生产工艺会影响产品质量，因此对这类要求供应极为严格的高 纯气体输送管道应采用对接焊连接井要求内表面无焊缝，即在进行焊接时不施加不锈钢焊丝，利用焊件本身溶化填满焊缝。
高纯气体和洁净气体管道与阅门等附件的连接应采用密封不易掺漏的连接件，一般可采用表面密封连接件(如 VCR等)。具体选用哪一种形式应根据生产工艺对高纯气体质量的要求和气体本身的特性。表面密封连接件(VCR)为纵向压力进行压紧，选择质量优良的金属垫，便可做到气密性好、不掺漏、污染少，常常用于要求气体中杂质含量边10-9级的 高纯气输送系统。面干燥压缩空气输送系统一般均采用双卡牵直接。
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